表1:
使用该ITO靶材镀膜后,ITO导电膜的性能参数
项目
规格
导电性能
约180μΩ·cm(满足产品生产要求)
透光率
>87%(满足产品生产要求)
耐热实验
合格
泡碱实验
耐碱实验
蚀刻性能