2010年9月30日,晶联公司的ITO靶材在G公司的TP生产线上通过试用!随后,双方协议,近期G公司将正式购买使用晶联公司的ITO靶材。
G公司是中国最早的上市公司之一,是中国玻璃行业最具竞争力和影响力的大型企业集团。本次试用结果表明,晶联公司ITO靶材产品已达到国内先进、国际相当水平,是晶联公司发展道路上的一座里程碑。
以下是晶联公司ITO靶材产品在G公司试用结果:
绑定:
靶材无热裂。
预溅射:
9月19日,预溅射功率增加过程中电压曲线平稳,无异常波动;预溅射过程电压平稳无波动;加氧气稳靶,功率增加过程中电压平稳无波动,可以大功率生产。
试镀:
生产过程中靶材电压无波动;生产过程中样品溅射速率、透过率、电导率同G公司现用靶材相当;样品耐碱、耐热、高温高湿等理化性能指标均可满足TP产品性能指标。
靶材表面状况:
9月25日查看靶材表面状况,溅射区、过渡区、非溅射区光滑、无黑化、无结瘤点、无裂痕。
第二次试镀:
9月26日,新靶位试镀,生产过程中样品溅射速率、透过率、电导率同G公司现用靶材相当;样品耐碱、耐热、高温高湿等理化性能指标均可满足TP产品性能指标。
以上情况表明,晶联公司的ITO靶材满足G公司TP生产对ITO靶材的要求。